Редакторы: Л Майссел Р Глэнг Переводчики: М Елинсон Г Смолко Справочник по технологии тонких пленок - наиболее современное и фундаментальное издание, посвященное тонким пленкам твердых вещебщйпхств, находящим широкое применение в микроэлектронике, оптике, магнитной технике, СВЧ и космической технике и др Справочник издается в двух томах В т 1 включены гл 1-7, п т 2-гл 8-21 В г 1 справочника читатель найдет исчерпывающие справочные данные по различным мвзнэдетодам получения тонких пленок (техника высокого вакуума, физический механизм распыления материалов под действием ионной бомбардировки, методы получения пленок путем ионного распыления); технологические разъемы, а также параметры необходимой аппаратуры Книга является универсальным справочным пособием для широкого круга инженеров и конструкторов радиоэлектронной аппаратуры, разработчиков интегральных микросхем и радиоэлектронных элементов, научных работников, аспирантов и студентов, вргшьспециализирующихся в области микроэлектроники, физики и технологии изготовления тонких пленок.